半导体行业 Z轴模组
高响应
电机在2mm、5mm行程目高频(30HZ以上)运动情况下的整定时间(20 Units 内，磁栅分辨率1um)
高加速
负载轻，加速度可达20G
集成化
体积小，结构紧凑
内有弹簧结构，可垂直安装
内有弹簧结构，可垂直安装
| 技术指标 | 参数 |
| 行程(mm) | 35mm |
| 负载(kg) | / |
| 重复精度(um ) | ±1 |
| 加速度(G) | 20G |
| 整定时间(ms) | 20 |
半导体行业 Z轴模IC固晶/封装组
超高刚性
采用炭纤维做骨架
炭纤维的优势是重量轻刚性强刚性是铝的10倍
炭纤维的优势是重量轻刚性强刚性是铝的10倍
温升控制
气冷散热方式，持续温度
保持在80℃以下
保持在80℃以下
高加速
三轴联动高加速度，加速
度达到18G，稳定运行
度达到18G，稳定运行
| 技术指标 | 参数 | ||
| 行程(mm) | X:6 | Y: 165 | Z:30 |
| 负载(kg) | 3kg | ||
| 重复精度(um ) | X:±2 | Y:±2 | Z：±3 |
| 加速度(G) | 0.2 | 3 | 1.5 |
| 整定时间(ms) | 50 | 60 | 45 |
半导体行业 双面固晶检测
高精度
XYZ0组合
重复精度±0.5um
定位精度±lum
重复精度±0.5um
定位精度±lum
线性误差
X、Y、0组合平面度高，达10um以内
高加速
三轴联动高加速度
加速度达到4G稳定运行
加速度达到4G稳定运行
| 技术指标 | 参数 | ||||
| 行程(mm) | X:6 | Y: 165 | Z上:100 | Z下:100 | 0:360° |
| 负载(kg) | 15 | X+15 | 10 | 10 | / |
| 重复精度(um) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.55 | ±0.55 | 0.03° |
| 定位精度(um) | ±1 | ±1 | ±1 | ±0.5 | 0.03° |
| 运动时间(ms) | 4.5mm/30 10mm/50 | 4.5mm/40 10mm/60 | / | / | / |
| 整定时间(ms) | 5~20 | 10~20 | / | / | / |
| 运动行程(mm) | 单步运行4.5 单步运行10 | 单步运行4.5 单步运行10 | 单步最小移动0.0003 | 单步最小移动0.0005 | 0:0.05° |
大理石十字 Z轴结构
超高精度
XYZ组合
重复精度±1.3um
定位精度±1.9um
重复精度±1.3um
定位精度±1.9um
线性误差
X、Y、Z组合平面度高，≤3um
稳定可靠
重复测量精度高
| 技术指标 | 参数 | |||
| 行程(mm) | X:220 | Y: 420 | Z:40 | 备注 |
| 负载(kg) | 6 | X+6 | 3.4 | |
| 重复精度(um) | ±0.8 | ±1.5 | ±0.3 | 补偿后(干涉仪5遍) |
| 定位精度(um) | ±1.6 | ±1.9 | ±0.5 | 补偿后(干涉仪5遍) |
| 垂直度(um) | X/Y:5 | / | ||
| 平面度(um) | ≤3(50mm*50mm) | ≤3(50mm*50mm) | ≤3(50mm*50mm) | |
| Z相跳动(um) | ≤3.8 | ≤2.1 | ≤5 | |
| 速度(m/s) | 0.5 | 0.5 | 0.1 | |
| 加速度(g) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 停顿时间(s) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |